半导体行业案例：与某显示面板龙头企业合作案例

国内某显示面板龙头企业-LPCVD 案例解析

一、背景

LPCVD设备进行Dep工艺时，发生Tube Pressure Alarm，无法 按照工艺要 求继续生产，未完成Dep工艺。

影响：

① Chamber工艺环境差，无法满足生产要求；

② 产品未完成Dep工艺，降低设备稼动率，影响产品质量；

③ Chamber密封不良，存在Leak现象。

二、解决方案：FDC 设备异常监控系统

FDC 管控&异常处理流程

• 设备法兰密封圈老化，导致密封效果变差，发生Leak 事故（根本原因）；

• FDC实时管控ReactorA400LeakRate参数（相关参数），监控TEOS相关recipe、Step为CLOSE_FASTPUMP，且连续5点（避免单点偶发性OOC）超UCL触发Alarm；

• 设备EE/PE 再次确认Alarm产品，检查产品膜厚、均一性是否正常，报废或再工再次确认。

三、管控效益

• 提高设备稼动率：提前通知设备负责人，检查设备密封状态，预防设备发生Leak现象，保持设备工艺环境稳定性；

• 改善产品质量（优化生产环境）：保障每次Dep工艺按照生产要求完成，改善产品膜厚的稳定性，提高膜均一性指标；

• 优化设备Parts更换时间，根据设备实际情况及时更换设备部件（密封圈、Pump等）。