Industries and
Reference Cases
Serve every customer attentively
Carefully build every cooperation
eR2R
Equipment Run-to-Run
Process Control
改进良率和过程控制的 eR2R
对于半导体和 FPD 制造工程师来说，调整和计算工艺配方值的能力，是确保稳定的过程控制和较高制造良率的一个关键。人工调整用于维护稳定的系统控制的工艺配方值，是极度困难和耗时的工作。要确保尽可能好的结果，使这个任务自动化是提供最高运营价值的核心。在经过实证的PeakPerformanceTM框架基础上构建的 FutureFab.Ai eR2R 解决方案，有效利用了早期运行的工艺和测量数据，来观测和计算工艺配方值，对于确保紧密的过程控制有重大作用。eR2R是应用于多种行业并已经过实证的解决方案，包括半导体晶片制造、LCD、PDP、LED、OLED制造。借助eR2R，良率和产品质量得到了优化，同时，减少了昂贵的工艺返工，调整次数也降至最低。
基于框架的解决方案提升了全厂性运营效率
除提供稳定的工艺控制和更高的良率，eR2R 还可轻松集成企业级系统，如MES和EAP协助数据采集和执行工艺配方变更。eR2R也旨在与其它设备工程系统无缝协作，其中包括eFDC和eRMS等等，提供市面中可能达到最好的过程管理功能。
智能制造(Smart Manufacturing)
FutureFab.Ai 智能制造解决方案是为了未来化工厂而量身订制，藉由整合制造过程中所牵涉的所有环节，提供更好的实时侦测、分析、预测和适应性来改善生产的体质，进而降低成本、提高运作效率和良率。 FutureFab.Ai 解决方案支持搜集、管理、分析数据、监控设备状态、优化生产过程及识别异常发生的根本原因，从而减少生产风险。除此之外，还支持机器学习和基于 AI 的分析、预测以及持续性优化的应用程序，从而加速工厂对于智能制造的转型。
基于图形化工作流程的过程控制
Fab-wide Recipe Management
用户可以使用图形化工作流程对象，创建自定义的过程控制工作流程和逻辑
管理过程控制逻辑，而无需编写程序
对应各种统计公式和算法，并处理过程中的各种例外情况
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动态模型部署
动态上传新的过程控制模型，而无需系统停机
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与虚拟 DOE集成
通过历史数据集进行 eR2R控制模型模拟
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对象产业集群
半导体制造
平板显示器制造
半导体设备制造商
LED 制造
PCB/SMT
Key Benefits
- 轻松的全厂性配置轻松编辑或复制现有 eR2R 控制模型的操作，关联控制模型、目标工艺和设备协助全厂性 eR2R 模型扩展
- 多种模型执行能够创建和比较多个工艺控制模型的执行逻辑
Key Features
- 图形化建模 : 图形化工作流程设计器，提供用于设计和管理 eR2R 控制逻辑的直观环境
- 高可靠性 : 在全球范围内的客户群中进行了多元化的部署，提供工艺和产品质量优化的价值
- 开放式架构 : 自定义组件可与现有的过程应用程序集成，以满足任何生产及行业的需求
