Industries and
Reference Cases
Serve every customer attentively
Carefully build every cooperation
eRMS
Equipment Recipe
Management System
设备工艺配方管理提高了质量和工程生产力
对于半导体、FPD和LCD制造商来说，通过高效管理工艺配方和相关参数将设备性能最大化，即可将操作员错误降至最低，在削减成本的同时，为工程师提供在质量要求颇高的半导体和平板显示器制造环境中立于不败之地所需要的竞争优势。 由于有了高效的 FutureFab.Ai eRMS，工程师能利用强大的工具更轻松地跟踪工艺配方和参数的变更及功能变更历史，进而实现设备内部和之间的工艺配方版本控制及工艺配方比较。
灵活、高效和用户友好型 eRMS，支持更好地全厂性运营
选择错误的工艺配方 ID 会使设置的工艺配方参数值无效，从而导致晶片或面板生产中断或停机，造成成本高昂的材料报废和显著的财务损失。 此外，工艺工程师还经常负责工艺配方的编辑、复制并通过 USB 发布到其他设备。用这种方式管理工艺配方有风险，并且过程费力，降低了设备和总体工程生产力。 FutureFab.Ai eRMS 工作流程引擎，让工程师可以针对设备工艺配方和参数定制及修改应用程序，而无需停机。 eRMS 工艺配方和设备图表，提供了更高的灵活性，便于用户满足复杂选择的要求。 借助eRMS，工程师还可更高效地验证、下载和上传工艺配方与参数，减少材料返工和报废，支持设备和过程以巅峰性能执行。
智能制造(Smart Manufacturing)
FutureFab.Ai 智能制造解决方案是为了未来化工厂而量身订制，藉由整合制造过程中所牵涉的所有环节，提供更好的实时侦测、分析、预测和适应性来改善生产的体质，进而降低成本、提高运作效率和良率。 FutureFab.Ai 解决方案支持搜集、管理、分析数据、监控设备状态、优化生产过程及识别异常发生的根本原因，从而减少生产风险。除此之外，还支持机器学习和基于 AI 的分析、预测以及持续性优化的应用程序，从而加速工厂对于智能制造的转型。
全厂性工艺配方管理运营
Fab-wide Recipe Management
CIM 和/或 MES 系统仅关注与产品、步骤和设备相关的工艺配方 ID（PPID）的管理。
每件单独设备的工艺配方文件的工艺配方管理，对于实现高效的全厂性运营也很重要。
工艺配方数据库（RDL）
支持格式化和非格式化工艺参数结构类型
支持用于不同设备模型的多达 60个 RDL 类型
经过实证，非常高效，并且可以轻松应用
工艺配方验证/核实
验证运行在设备上的时序工艺配方
验证设备上的工艺配方参数设置值
验证设备常数
用于设备工作流程控制的查询状态变量
工艺配方执行
查询工艺配方目录，会上传当前运行
工艺配方的目录
将工艺配方的工艺参数下载到设备
从设备上传工艺配方的工艺参数
从设备删除工艺配方
从用户提供的上下文环境中选择计划的工艺配方
选择计划的设备或用户提供的设备列表
工作流程控制
允许用户自定义工艺配方执行业务逻辑
允许用户向eRMS添加新功能
允许用户集成原有应用程序
对象产业集群
半导体制造
半导体设备制造商
平板显示器制造
PCB/SMT | 生物技术
LED 制造
Key Benefits
- 改进质量
- 降低错误率和废品率
- 提高工程师生产力
- 全厂性工艺配方管理效率
- 用于改进质量的工艺配方验证
- 自动化基于参数的工艺配方控制
Key Features
-基于参数的工艺配方控制
-工艺配方验证和封闭
-不受限的工艺配方修订控制
-全局数据共享一旦设置和存储了工艺配 方，所有 EES 应用程序都可以使用这些 信息，免除对工艺配方定义的重复设定
-eRMS支持格式化和非格式化类型设备 模型的工艺配方数据库（RDL）
-eRMS兼容 SEMI E42 标准
-基于框架的解决方案，可显著提高效率
