智现未来eDataLyzer是高性能数据分析平台,具有独有的深入分析法-Drill Down Analysis,快速、精准找出影响良率的因素,进行根因分析,有利于工程师把控良率和生产率。
由Map Analyzer(图像分析)、IntelliMine(智能挖掘)、Trace Analyzer(跟踪分析) 三种主要数据分析工具构成。
eDataLyzer
大数据智能良率分析平台

高级分析需求难满足

只能满足日常性的不良/Defect 的分析,随着业务需求增加以及数据量增加,无法满足客户的高级分析需求

操作复杂,增加分析难度

操作复杂,对使用用户的要求高,必须熟悉算法,方差分析,回归分析,PLS/PCA 等算法

分析范围有限

一般只能分析到设备Summary Data级别,无法分析FDC Trace Raw data
传统分析工具的痛点
(DMS/EDA)
势一:高效的数据管理体系及可访问性
eDataLyzer可高效整合所有的数据类型及提供灵活的可访问性,被视为最全面的根因分析平台。
Map Analyzer(MA)
IntelliMine (IM)
Trace Analyzer
Map Analyzer (图像分析) 1. 自动感知系统化的 Wafer map pattern 及分类;
2. 整合所有类型的 Wafer map 的 Spatial data 及分析其相关关系;
3. 根据Die大小,跨不同产品自动识别 Pattern。

IntelliMine (智能挖掘) 1. 对各种类型的大容量数据进行快速准确的挖掘,快速识别影响良率的因素;
2. 影响的设备或 Chamber IntelliMine (IM)
Trace Analyzer (跟踪分析) 1. 利用 Full Trace 的深度原因分析 2. 挖掘工艺过程对良率产生影响的各种变化
势二:最佳的根因分析应用程序
产品价值
重点功能
适用行业
半导体 半导体生产设备 FPD LED PCB/SMT 钢铁/汽车/生命科学
1. 易于连接各种生产数据,快速建立综合分析平台;
2. 简化了分析过程,提高分析效率;
3. 将根因分析过程从几周或几个月缩短到几小时。

1. 自动识别 Wafer map 并通过数据挖掘 从大量数据里快速找出相关性 2. 人工智能驱动的跟踪分析,定位到根本原因 3. 基于用户自定义的智能自主的根本原因分析