支持工程师识别和使用在最佳状态下运行的 Chamber-“Golden Chamber”。 Golden Chamber 是具有最佳的Wafer 基准腔室（Reference Chamber），利用这一点实现快速决策并使整体设备集群保持最佳性能。
智现未来CM 设备腔室匹配
Chamber Matching
实现整体设备集群性能的最优化
通过Chamber Matching 缩短分析时间
产品亮点
PRODUCT FEATURES
通过比较分析基准室（Reference Chamber）和所有 Chamber 的参数，可快速识别失配（Mis-matching）的传感器和Drifting 传感器。 同时，CM 不受Chamber 数量的制约，可同时分析众多 Chamber，并可实现良率和生产率的最大化。
借助CM（腔室匹配）缩短分析时间
现有分析方式和智现未来CM的对比
Comparison Between Existing Analytics Approaches and Futurefab.Ai CM
适用行业&产品功能
APPLICABLE INDUSTRIES & PRODUCT FUNCTIONS
适用行业
产品功能
半导体
半导体生产设备
FPD
LED
PCB/SMT
1. 利用统计分析快速识别Golden Chamber
2. 利用Full Trace 分析结果对 Chamber 及参数进行排序
3. 提供各个时间段的 Chamber 性能比较功能
4. 支持不受 Chamber 数量限制的情况下进行比较
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