智现未来eMPA 旨在提高工厂生产力和总体设备效率。
凭借OEE 管理、基于规则的状态管理和各种损失分析功能，该解决方案使工程师有能力轻松跟踪和分析Loss因子，有效提高设备的稼动率及生产效率。
智现未来MPA 设备监测性能分析
Equipment Monitoring Performance Analyzer
优化设备利用率，提高OEE
实时监控支持提高全厂性效率
提高工厂生产力
损失分析
LOSS ANALYSIS
1. 通过各种图表，对各种设备损失进行根本原因分析
2. 管理设备内部损耗：可用性、运营、速率和质量损失
3. 管理设备外部损耗：未成产品的基片、移动损失、开始时间、延迟、产品或工艺程序的频繁变更
4. 图形工作流程，用于定义自定义的损失要求
1. 过程和节拍时间分析，用于通过图表进行基片追溯
2. 事件组（LOT、过程、基片、腔室开始/结束）分析
3. 通过使用各种数学库和 SPC 规则，分析和封锁基片追溯时间
设备性能跟踪
PERFORMANCE MONITORING
基于规则的状态管理
将生成事件和警报的较低级子设备的状态结合运用，以及应用停机规则和运行规则，轻松确定和管理未生成事件或警报的主设备或子设备的状态。
快捷分析能力
MPA可以找到设备、腔室或子单元级别上的性能差异，并帮助您轻松快捷地分析生产力问题的根本原因。
兼容性
MPA兼容所有 SEMI和和 SEMATECH OEE 管理系统标准。SEMI E10-RAM、E58-ARAMS、E79-OEE和 E116-EPTI……
产品优势
PRODUCT HIGHLIGHTS
|
|
|